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歐姆龍MEMS流量傳感器D6F檢測原理有哪些方法?

2019-05-08

歐姆龍采用獨(dú)創(chuàng)的超細(xì)微加工技術(shù),開發(fā)了裝配有流速檢測元件的MEMS流量傳感器D6F, 擁有引以為傲的世界最高級別靈敏度,甚至是1毫米/秒的氣體流速變化也能精確檢測。可以測量空氣、 天然氣以及LPG氣體等等,按測量類型來說主要分為三大類:1、測量空氣流速 2、測量氣體流量 3、測量空氣壓差。

三大特點(diǎn):

1、高精度--通過 ASIC 的線性溫度補(bǔ)償,實(shí)現(xiàn) ±3%RD25 100% F.S.;

2、高靈敏度--獨(dú)特的 MEMS 構(gòu)造,對微風(fēng)也能進(jìn)行檢測

3、體積小--采用世界最小等級的 MEMS 元件,實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品的小型化

其中,D6F-W/-V/-P等系列流量傳感器采用歐姆龍獨(dú)創(chuàng)的立體流路結(jié)構(gòu),防塵性出色配備灰塵分離機(jī)構(gòu)(旋風(fēng)方式),減小了對傳感器芯片的影響,從而實(shí)現(xiàn)了高可靠性。更小型化的尺寸,可以安裝在任何位置,也適用多種用途。


歐姆龍MEMS流量傳感器檢測原理在沒有氣體流動的情況下以加熱器為中心,溫度分布左右對稱。流動的狀態(tài)下,加熱器上風(fēng)向的溫度低,下風(fēng)向溫度高,溫度分布不再對稱。將該溫差作為熱電堆的電動勢之差進(jìn)行傳感,可測量流量、流速而不影響溫度、壓力。此外,熱電堆為熱電動勢方式,與電阻式相比,有助于降低功耗。


    隨著國內(nèi)天然氣市場的快速發(fā)展,清潔能源也越來越受到大眾的重視??梢灶A(yù)見的是,歐姆龍小型、高性能MEMS流量傳感器,將會在智能燃?xì)獗怼⑷剂想姵?、燃?xì)忮仩t以及空氣能熱水器等應(yīng)用領(lǐng)域擁有更多的機(jī)會。


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